[发明专利]一种MEMS传声器振动膜片

摘要

本发明公开提出一种MEMS传声器振动膜片，包括基膜、附着于基膜一侧表面的上电极层以及附着于基膜另一侧表面的下电极层。本发明的MEMS传声器振动膜片具有灵敏度高、结构简单、失真小的有益效果。

主权项

1.一种MEMS传声器振动膜片，包括基膜、附着于基膜一侧表面的上电极层以及附着于基膜另一侧表面的下电极层，基膜通过如下方式制备：向配有机械搅拌、温度计和氮气入口的5L干燥的三口圆底烧瓶中加入3,5‑二硝基苯甲酰氯185.00g，0.815mol，4，4’‑二苯甲烷二异氰酸酯12.58g，0.096mol，三乙胺500ml，苯乙炔26.78g,0.269mol搅拌反应30分钟得到均相溶液；继续加入3,5‑二硝基‑4’‑苯乙炔基二苯甲酮25.78g，0.089mol，N‑N二甲基乙酰胺258.32g，0.986mol在10‑15℃下反应约10‑15小时得到聚酰亚胺溶液；将聚酰亚胺溶液均匀涂覆于玻璃板上，放入烘箱中，在170℃温度下加热30分钟，而后在200℃温度下加热2小时，最后在250℃温度下加热1小时后冷却至室温，将玻璃板置于沸腾的去离子水中浸泡得到厚度为20‑25μm的聚酰亚胺基膜；所述上电极层为铝金属层，厚度为0.03‑0.05μm；所述下电极层厚度为0.3‑0.7μm；所述下电极层的组分及重量百分比为：Al:10％‑15％；Cr:5％‑8％；Nb:0.2％‑1.5％；Ni:2.5％‑5％；Pt:7％‑10％；余量为Ti。