[发明专利]具有高品质因数的Lamb波传感器有效
| 申请号： | 201610316204.5 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106053595B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 周连群;李传宇;郭振;姚佳;张威;孔慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科芯感医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/00 | 分类号： | G01N29/00 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本案涉及一种具有高品质因数的Lamb波传感器，包括：衬底层，其具有薄膜层和腐蚀槽；薄膜层所对应的区域为传感区，薄膜层以外的衬底层上所对应的区域为非传感区；压电层，其设置在衬底层上的远离腐蚀槽的一侧；叉指电极，其设置在压电层表面，包括有输入端和输出端；反射栅，其设置在压电层表面，并位于非传感区内；其中，反射栅被设置在叉指电极的两侧，且位于Lamb波的运动路径上。本案通过在薄膜以外的区域添加反射栅结构，并设计反射栅和IDT的线条之间的间距，实现了Lamb波传感器品质因数的有效增益；在保证理想幅频和相频特性的基础上，达到Lamb波传感器品质因数增益的目的，从而有效降低传感器测试的检测限。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 品质因数 lamb 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有高品质因数的Lamb波传感器，其特征在于，包括：衬底层，其具有一个经刻蚀后形成的薄膜层，被刻蚀的区域形成一个腐蚀槽；薄膜层所对应的区域为传感区，薄膜层以外的衬底层上所对应的区域为非传感区；压电层，其设置在所述衬底层上的远离所述腐蚀槽的一侧；叉指电极，其设置在所述压电层表面，并位于所述传感区内；所述叉指电极包括有输入端和输出端；反射栅，其设置在所述压电层表面，并位于所述非传感区内；其中，所述衬底层为硅基衬底层；所述反射栅被设置在所述叉指电极的两侧，且位于Lamb波的运动路径上；所述叉指电极的外沿距离所述反射栅的外沿的最小距离D＝λ×(n+1/2)，其中，λ为Lamb波的波长；n为整数，且n≥0。
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