[发明专利]加工装置以及加工方法

摘要

本发明提供一种能够向工件的被加工面均匀地照射紫外线而生成均匀的氧化物并将工件加工为平滑的平面的加工装置。加工装置具备：使工件绕旋转轴旋转的旋转工作台；以与旋转工作台的旋转轴正交的轴进行旋转的辊形状构件；在旋转工作台的旋转轴的方向上进行驱动以使得辊形状构件与工件相互接触的垂直驱动部；向辊形状构件与工件之间照射紫外线的紫外线照射源；被供给至辊形状构件与工件之间的研磨材料；以及被供给至辊形状构件与工件之间且使来自紫外线照射源的紫外线散射的光散射体。

主权项

一种加工装置，具备：旋转工作台，其使工件绕旋转轴旋转；辊形状构件，其以与所述旋转工作台的所述旋转轴正交的轴进行旋转；垂直驱动部，其在所述旋转工作台的旋转轴的方向上进行驱动，以使得所述辊形状构件与所述工件相互接触；紫外线照射源，其向所述辊形状构件与所述工件之间照射紫外线；研磨材料，其被供给至所述辊形状构件与所述工件之间；以及光散射体，其被供给至所述辊形状构件与所述工件之间，且使来自所述紫外线照射源的紫外线散射。