[发明专利]一种无机材料光盘的数据记录方法在审
| 申请号： | 201610307464.6 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN105976841A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 付明磊;徐武超;乐孜纯;伊凡·高博夫;德米特罗·曼科 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G11B7/0045 | 分类号： | G11B7/0045 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种用于无机材料光盘的数据记录方法，包括如下步骤：步骤1：清洗无机材料衬底；步骤2：采用热蒸发方式在无机材料衬底层上覆盖金属反射层；步骤3：在金属反射层上刻蚀信息坑，过程如下：步骤3.1、采用离心机在金属反射层上旋涂一层正性光刻胶；步骤3.2、对光刻胶层进行选择性刻蚀以制备刻蚀掩膜；步骤3.3、对裸露的金属反射层进行化学刻蚀，使数据记录在金属反射层，在金属反射层上刻蚀出的信息坑结构符合ISO/IEC 10149:1995规定的CD‑ROM格式数据存储要求；步骤3.4、当化学刻蚀完成后，去除残余光刻胶，完成数据记录。本发明提出一种过程简单、成本较低的无机材料光盘的数据记录方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无机 材料 光盘 数据 记录 方法 | ||
【主权项】：
一种用于无机材料光盘的数据记录方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：步骤1：清洗无机材料衬底；步骤2：采用热蒸发方式在无机材料衬底层上覆盖金属反射层；步骤3：在金属反射层上刻蚀信息坑，过程如下：步骤3.1、采用离心机在金属反射层上旋涂一层正性光刻胶；步骤3.2、对光刻胶层进行选择性刻蚀以制备刻蚀掩膜；步骤3.3、对裸露的金属反射层进行化学刻蚀，使数据记录在金属反射层，在金属反射层上刻蚀出的信息坑结构符合ISO/IEC10149:1995规定的CD‑ROM格式数据存储要求；步骤3.4、当化学刻蚀完成后，去除残余光刻胶，完成数据记录。
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