[发明专利]一种超高温熔体法晶体生长中的坩埚支撑装置

摘要

本发明公开了一种超高温熔体法晶体生长中的坩埚支撑装置，包括水平设置的底盘，底盘顶面中心竖直连接有支撑杆，支撑杆上端同轴连接有托盘，托盘由圆筒、上盖、下盖构成。本发明可用于采用铼坩埚感应加热的提拉法、电阻加热的泡生法中以支撑盛装高温熔体的坩埚，使坩埚能够稳固放置，并避免因坩埚底部温度过低形成的上部比底部温度高的“倒温场”，有利于晶体生长稳定地进行。

主权项

一种超高温熔体法晶体生长中的坩埚支撑装置，其特征在于：由金属铼、或金属钨、或金属钼、或金属钽、或钨钼合金材料制成，包括水平设置的底盘，底盘顶面中心竖直连接有支撑杆，所述支撑杆与底盘同轴，支撑杆上端同轴连接有托盘，所述托盘由圆筒、上盖、下盖构成，其中上、下盖分别对应同轴盖合连接在圆筒上、下端筒口上，且托盘的下盖同轴连接在支撑杆上端。