[发明专利]具备预测产生结露的功能的激光装置

摘要

本发明涉及一种具备预测产生结露的功能的激光装置，具有预测结露的产生并且事先防止结露的产生的功能。该激光装置具备：控制部，其根据通过温度计测量到的温度以及通过湿度计测量到的湿度，来计算用于判定能否通过冷却水供给装置提供冷却水的基准温度；以及比较部，其比较基准温度和冷却水温度，冷却水供给装置在输出了用于启动激光谐振器的指令后，在冷却水温度比基准温度低时，停止冷却水的供给，当冷却水温度在基准温度以上时，开始或继续冷却水的供给。

主权项

1.一种激光装置，其特征在于，该激光装置具备：激光谐振器，其使激光振荡；冷却水供给装置，其将用于冷却上述激光谐振器的冷却水提供给上述激光谐振器；水温计，其测量被提供给上述激光谐振器的冷却水的温度；温湿度调整装置，其调整放置有上述激光谐振器的空间的温度以及湿度中的至少一方；温度计，其测量通过上述温湿度调整装置调整后的空气的温度；湿度计，其测量通过上述温湿度调整装置调整后的空气的湿度；控制部，其决定被提供给上述激光谐振器的冷却水的控制目标温度，并且根据通过上述温度计测量到的温度以及通过上述湿度计测量到的湿度，计算用于判定能否通过上述冷却水供给装置进行冷却水的供给的基准温度；水温调整装置，其根据上述控制目标温度调整提供给上述激光谐振器的冷却水的水温；以及比较部，其比较上述基准温度和上述控制目标温度，上述基准温度是放置有上述激光谐振器的空间内的露点或根据该露点计算的值，上述冷却水供给装置被构成为在输出了用于启动上述激光谐振器的指令后，在上述控制目标温度比上述基准温度低时，停止上述冷却水的供给，在上述控制目标温度在上述基准温度以上时，开始或继续上述冷却水的供给。