[发明专利]一种微机电系统开关有效
| 申请号： | 201610287169.9 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN105702527B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 邓中亮;魏浩;郭旭兵;甘俊 | 申请（专利权）人： | 北京邮电大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 项京;马敬 |
| 地址： | 100876 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种微机电系统开关，所述开关包括主锚区、悬臂梁、触点、底电极、两个副锚区和旁梁，所述主锚区设置在断开为两段的导体线的其中一段上；所述触点对应另一段导体线，所述导体线设置在衬底上；所述悬臂梁的一端固定在所述主锚区上，所述悬臂梁的悬空端下表面设置有所述触点；所述底电极设置在所述衬底上，对应于所述悬臂梁的下方；所述副锚区设置在所述衬底上，两个所述副锚区对应设置于所述悬臂梁的两侧，所述副锚区的顶端连接在所述旁梁的一端，所述旁梁的另一端连接所述悬臂梁悬空端。本方案解决了现有的使用低弹性系数的悬臂梁的MEMS开关中，悬臂梁的悬空端易发生翘曲的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 开关 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统开关，其特征在于，所述开关包括主锚区、悬臂梁、触点、底电极、两个副锚区和旁梁，所述主锚区设置在断开为两段的导体线的其中一段上；所述触点对应另一段导体线，所述导体线设置在衬底上；所述悬臂梁的一端固定在所述主锚区上，所述悬臂梁的悬空端下表面设置有所述触点，所述悬臂梁的悬空端的两侧均设置有豁口；所述底电极设置在所述衬底上，对应于所述悬臂梁的下方；所述副锚区设置在所述衬底上，两个所述副锚区对应设置于所述悬臂梁的两侧，所述副锚区的顶端连接在所述旁梁的一端，所述旁梁的另一端连接所述悬臂梁悬空端；所述旁梁在与所述副锚区连接处的宽度大于在与所述悬臂梁连接处的宽度。
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