[发明专利]一种微电子用MOS级硫酸的生产装置及生产方法

摘要

本发明涉及一种微电子用MOS级硫酸的生产装置及生产方法，该生产装置包括吸收装置、重吸收装置、脱吸收装置、硫酸成品槽和尾气回收装置，该方法通过上述装置对工业生产系统中的三氧化硫混合气体经过一系列的提纯、吸收、冷却、脱吸工艺，制成微电子用MOS级硫酸。本发明具有较高的系统稳定性并有效减少了生产成本。

主权项

1.一种微电子用MOS级硫酸的生产装置，其特征在于，该装置包括：吸收装置、重吸收装置、脱吸收装置、硫酸成品槽和尾气回收装置；吸收装置，该吸收装置包括第一吸收塔(2)、硫酸循环槽(3)、硫酸循环泵(4)、第一硫酸冷却器(5)、预热器(6)、三氧化硫蒸发器(7)、过滤装置(8)和废液槽(9)，在第一吸收塔(2)上设有第一进气口(201)、第一排气口(202)、第一进液口(203)和第一出液口(204)，在所述硫酸循环槽(3)内设有硫酸循环泵(4)，在所述硫酸循环泵(4)上设有硫酸循环泵出液口(402)和硫酸循环泵进液口(401)，在所述第一硫酸冷却器(5)上设有冷却器进液口(501)、冷却器出液口(502)、循环冷却水进水口(503)和循环冷却水出水口(504)，在所述预热器(6)上设有被加热酸进口(601)、被冷却酸出口(602)、被冷却酸进口(603)和被加热酸出口(604)，在所述三氧化硫蒸发器(7)上设有蒸发器进液口(701)、蒸发器出液口(702)、加热蒸汽进口(703)、冷凝水出口(704)和三氧化硫出气口(705)，在所述过滤装置(8)上设有过滤进口(801)、过滤出口(802)和排液口(803)，所述过滤装置(8)为笼状结构，在过滤装置(8)内设有滤网(804)，所述第一进气口(201)通过管道与工业硫酸生产系统(1)相连通，所述第一排气口(202)通过管道与工业硫酸生产系统(1)相连通，在第一吸收塔(2)内设有第一硫酸喷淋器(205)，所述第一硫酸喷淋器(205)与第一进液口(203)相连通，所述第一出液口(204)通过管道与硫酸循环槽(3)相连通，所述硫酸循环泵进液口(401)与硫酸循环槽(3)相连通，所述硫酸循环泵出液口(402)分别与冷却器进液口(501)和预热器被加热酸进口(601)相连通，所述冷却器出液口(502)与第一进液口(203)相连通，所述循环冷却水进水口(503)与循环冷却水出水口(504)分别与循环水进水管及回水管相连通，所述被加热酸进口(601)与被加热酸出口(604)相连通，所述被加热酸出口(604)与蒸发器进液口(701)相连通，所述蒸发器出液口(702)与被冷却酸进口(603)相连通，所述被冷却酸进口(603)与被冷却酸出口(602)相连通，所述被冷却酸出口(602)与硫酸循环槽(3)相连通，所述加热蒸汽进口(703)与冷凝水出口(704)相连通，所述三氧化硫出气口(705)与过滤进口(801)相连通，所述排液口(803)连通至废液槽(9)；重吸收装置，该重吸收装置包括第二吸收塔(10)、MOS吸收酸循环槽(11)、MOS吸收酸循环泵(12)和第二硫酸冷却器(13)，在第二吸收塔(10)上设有第二进气口(1001)、第二排气口(1002)、第二进液口(1003)和第二出液口(1004)，在所述MOS吸收酸循环槽(11)上设有MOS吸收酸循环槽进口(1101)、MOS吸收酸循环槽出口(1102)和超纯水进口(1103)，在所述MOS吸收酸循环泵(12)上设有输入端(1201)和输出端(1202)，在所述第二硫酸冷却器(13)上设有冷却器硫酸进口(1301)、冷却器硫酸出口(1302)、循环冷却水进口(1303)和循环冷却水出口(1304)，所述第二进气口(1001)通过管道与过滤出口(802)相连通，在所述第二进气口(1001)处设有气体稀释装置(1006)，所述第二排气口(1002)通过管道与尾气回收装置(19)相连通，在第二吸收塔(10)内设有第二硫酸喷淋器(1005)，所述第二硫酸喷淋器(1005)与第二进液口(1003)相连通，所述MOS吸收酸循环槽进口(1101)与第二出液口(1004)相连通，所述MOS吸收酸循环槽出口(1102)与循环泵输入端(1201)相连通，所述循环泵输出端(1202)与冷却器硫酸进口(1301)相连通，所述冷却器硫酸出口(1302)与第二进液口(1003)相连通，所述循环冷却水进口(1303)与循环冷却出水口(1304)分别与循环水的进水管及回水管相连通；脱吸收装置，该脱吸装置包括脱吸塔(14)、MOS脱吸酸循环槽(15)、MOS脱吸酸循环泵(16)和惰性气体产生装置(18)，在脱吸塔(14)上设有第三进气口(1401)、第三排气口(1402)、第三进液口(1403)、循环进液口(1404)和第三出液口(1405)，在所述MOS脱吸酸循环槽(15)上设有MOS脱吸酸循环槽进口(1501)和MOS脱吸酸循环槽出口(1502)，在所述MOS脱吸酸循环泵(16)上设有MOS脱吸酸循环泵进口(1601)和MOS脱吸酸循环泵出口(1602)，所述第三进液口(1403)与冷却器硫酸出口(1302)相连通，在所述脱吸塔(14)上内还设有第三硫酸喷淋器(1406)，所述第三硫酸喷淋器(1406)分别与第三进液口(1403)和循环进液口(1404)相连通，所述第三出液口(1405)与MOS脱吸酸循环槽进口(1501)相连通，所述MOS脱吸酸循环槽出口(1502)与MOS脱吸酸循环泵进口(1601)相连通，所述MOS脱吸酸循环泵出口(1602)与循环进液口(1404)相连通，所述第三进气口(1401)与惰性气体产生装置(18)相连通，所述第三排气口(1402)与尾气回收装置(19)相连通；硫酸成品槽(17)，该硫酸成品槽(17)通过管道与MOS脱吸酸循环泵出口(1602)相连通；尾气回收装置(19)，该尾气回收装置(19)与工业硫酸生产系统(1)相连通。