[发明专利]ITO玻璃及其制备方法在审
| 申请号： | 201610266286.7 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105908140A | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 金海涛;薛辉;昌江;任俊春 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO玻璃及其制备方法，其中，所述制备方法包括：将玻璃基片送入真空室中，将真空室盖盖好，先用机械泵对真空室进行预抽，当真空室内压强抽至3‑5Pa后，开启分子泵，将室内压强抽至4×10‑5‑5×10‑5Pa；对玻璃基片进行加热处理；通入反应气体，并开启靶材机构进行溅射；稳定溅射10‑15min后，移开衬底挡板，靶材机构对玻璃基片进行溅射处理，得到所述ITO玻璃，制得的ITO玻璃稳定性较好、外表无缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | ito 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种ITO玻璃的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：(1)将玻璃基片送入真空室中，将真空室盖盖好，先用机械泵对真空室进行预抽，当真空室内压强抽至3‑5Pa后，开启分子泵，将室内压强抽至4×10‑5‑5×10‑5Pa；(2)对玻璃基片进行加热处理；(3)通入反应气体，并开启靶材机构进行溅射；(4)稳定溅射10‑15min后，移开衬底挡板，靶材机构对玻璃基片进行溅射处理，得到所述ITO玻璃。
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