[发明专利]一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置及方法有效

专利信息
申请号: 201610261003.X 申请日: 2016-04-25
公开(公告)号: CN105824117B 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: 吕涛;乔永明;王瑞;靳虎敏;阮萍;郝伟 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司61211 代理人: 陈广民
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供了一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置和预紧方法,以解决现有技术只能施加单一固定的未知量预紧力的弊端。该装置包括与压电陶瓷驱动器数量一致的多组差动微调锁紧组件和位移传感器;每组差动微调锁紧组件包括差动螺杆、接触块和锁紧顶丝,差动螺杆通过螺纹配合安装在快速反射镜镜座上;接触块位于压电陶瓷驱动器顶部的半球顶尖和差动螺杆之间,接触块的上端与差动螺杆通过螺纹配合连接,由差动螺杆带动接触块上下移动;锁紧顶丝用于锁紧接触块,防止接触块上下窜动;位移传感器设置在靠近接触块和半球顶尖的位置,用于反馈在压电陶瓷驱动器驱动下镜座待测点的位移变化量。本发明可定量控制施加在压电陶瓷驱动器的预紧力。
搜索关键词: 一种 快速 反射 系统 压电 陶瓷 驱动器 装置 方法
【主权项】:
一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置,其特征在于:包括多组差动微调锁紧组件和多组位移传感器;差动微调锁紧组件的数量与压电陶瓷驱动器的数量一致;每组差动微调锁紧组件包括差动螺杆、接触块和锁紧顶丝;所述差动螺杆通过螺纹配合安装在快速反射镜的镜座上;所述接触块位于压电陶瓷驱动器顶部的半球顶尖和差动螺杆之间,接触块的上端与差动螺杆通过螺纹配合连接,由差动螺杆带动接触块上下移动;所述锁紧顶丝用于锁紧接触块,防止接触块上下窜动;所述位移传感器设置在靠近接触块和半球顶尖的位置,用于反馈在压电陶瓷驱动器的驱动下镜座待测点的位移变化量。
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