[发明专利]整合于垂直栅鳍式场效二极管的静电放电及被动结构

摘要

本发明涉及整合于垂直栅鳍式场效二极管的静电放电及被动结构。具体涉及场效二极管结构利用具有L形截面的接面结构(自平面部分延展的鳍片)。阳极置于鳍片的顶面，而阴极置于平面部分的端面。鳍片与平面部分的垂直性造成阳极与阴极彼此垂直。第一栅极绝缘体接触介于顶面与平面部分之间的鳍片。第一栅极导体接触第一栅极绝缘体，而第一栅极绝缘体介于第一栅极导体与鳍片的表面之间。另外，第二栅极绝缘体接触介于端面与鳍片之间的平面部分。第二栅极导体接触第二栅极绝缘体，而第二栅极绝缘体系介于第二栅极导体与平面部分的表面之间。

主权项

1.一种场效二极管，其包含：具有L形截面的接面结构，该接面结构包含平面部分及鳍片部分，该鳍片部分自该平面部分沿着第一方向延展，该平面部分沿着垂直于该第一方向的第二方向延展，该鳍片部分具有沿着该第一方向远离该平面部分的顶面，该顶面与该平面部分平行，该顶面横置于有别于该平面部分的平面中，该平面部分具有沿着该第二方向远离该鳍片部分的端面，该端面与该鳍片部分平行，并且该端面横置于有别于该鳍片部分的平面中；阳极，其置于该鳍片部分的该顶面；阴极，其置于该平面部分的该端面；第一栅极绝缘体，其接触沿着该第一方向延展的该鳍片部分的表面，该第一栅极绝缘体接触介于该顶面与该平面部分之间的该鳍片部分的该表面；第一栅极导体，其接触该第一栅极绝缘体，该第一栅极绝缘体置于该第一栅极导体与该鳍片部分的该表面之间；第二栅极绝缘体，其接触沿着该第二方向延展的该平面部分的表面，该第二栅极绝缘体接触介于该端面与该鳍片部分之间的该平面部分的该表面；以及第二栅极导体，其接触该第二栅极绝缘体，该第二栅极绝缘体置于该第二栅极导体与该平面部分的该表面之间，其中该接面结构包含介于该阳极与该阴极之间的多个p‑n接面。