[发明专利]用于制备离子探针铟靶装置以及离子探针铟靶的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于制备离子探针铟靶装置以及离子探针铟靶的制备方法，包括靶托、用于加热靶托的加热机构、压力杆、滑动杆、气缸、用于支撑气缸的第一支撑架、用于支撑压力杆的第二支撑架以及用于支撑滑动杆的第三支撑架，所述压力杆的一端与第二支撑杆的顶部活动连接，另一端与气缸相连，所述滑动杆和加热机构均位于压力杆的下方，且滑动杆的一端面对着压力杆，另一端面对着加热机构，所述气缸用于沿着纵向对压力杆施加压力，从而带动滑动杆沿着纵向对加热机构施加压力。本发明可以将离子探针从>5微米分辨率提升到<1微米分辨率，实现低级变质锆石狭小变质边(<5微米)的年龄和微量元素测定，使所制备铟靶表面平整度达到～10微米，保证所制备铟靶满足离子探针测试对于平整性的要求。

主权项

一种用于制备离子探针铟靶装置，其特征在于，包括靶托、用于加热靶托的加热机构、压力杆、滑动杆、气缸、用于支撑气缸的第一支撑架、用于支撑压力杆的第二支撑架以及用于支撑滑动杆的第三支撑架，所述压力杆的一端与第二支撑杆的顶部活动连接，另一端与气缸相连，所述滑动杆和加热机构均位于压力杆的下方，且滑动杆的一端面对着压力杆，另一端面对着加热机构，所述气缸用于沿着纵向对压力杆施加压力，从而带动滑动杆沿着纵向对加热机构施加压力。