[发明专利]碳化硅预制件的烧结方法及铝碳化硅板的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610239864.8 申请日: 2016-04-18
公开(公告)号: CN105906369B 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 肖浩;陈迎龙;蒋文评;陈柯;杨盛良 申请(专利权)人: 湖南浩威特科技发展有限公司
主分类号: C04B38/06 分类号: C04B38/06;C04B35/565;C04B41/88
代理公司: 长沙智嵘专利代理事务所43211 代理人: 李杰
地址: 410118 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种碳化硅预制件的烧结方法及铝碳化硅板的制备方法,该烧结方法包括以下步骤将预制件素坯放置在烧结炉中,炉温从室温以5℃/min的速度升温到200℃后,抽取烧结炉中的烟气至燃烧室,燃烧室设置为大火焰。炉温以4℃/min的速度升温到400℃后,调小燃烧室的火焰。炉温以4℃/min升温到600℃后,保温0.5h,增大燃烧室的火焰。停止抽取烟气,封闭烧结炉的烟气出口,炉温以3℃/min升温到850℃,保温1h,炉体冷却,开启炉门,获得碳化硅预制件。上述碳化硅预制件的烧结方法,通过抽取烟气至燃烧室中,促进石蜡蒸汽排出,避免碳化硅预制件表面孔隙产生炭黑残留,排蜡时间大量缩短,缩短了烧结时间。
搜索关键词: 碳化硅 预制件 烧结 方法 制备
【主权项】:
一种碳化硅预制件的烧结方法,其特征在于,包括以下步骤:将预制件素坯放置在烧结炉中,将炉温从室温升至200℃;将炉温从200℃分段升温至600℃,在升温过程中,将所述烧结炉中含石蜡蒸汽的烟气抽至燃烧室,当石蜡蒸汽浓度降低时,调大燃烧室的火焰,当石蜡蒸汽浓度增高时,调小燃烧室的火焰,以排尽所述烧结炉内的石蜡蒸汽;停止抽取烟气,封闭所述烧结炉的烟气出口,将炉温升温到820~860℃保温,冷却,开启炉门,获得碳化硅预制件。
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