[发明专利]用于固化施加到基板的光刻胶的至少一部分的方法与设备在审
| 申请号： | 201610232636.8 | 申请日： | 2016-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN106054540A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 奥马尔·法赫尔;迪特里希·滕尼斯 | 申请（专利权）人： | 苏斯微技术光刻有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨生平;王瑞朋 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于至少部分地固化施加到基板(14)的光刻胶(12)的方法，其中执行以下步骤。将涂覆有光刻胶(12)的基板(14)布置在支撑件(16)上。光刻胶(12)经受适当的温度以使光刻胶(12)固化第一预定时间段。在经过第一预定时间段以后，基板(14)被从支撑件(16)提升、旋转、重新布置在支撑件(16)上并且经受适当温度以使光刻胶(12)固化第二预定时间段。本发明还涉及用于固化施加到基板(14)的光刻胶(12)的至少一部分的设备，其包括：室(20)；支撑件(16)，其布置在室(20)中并且基板(14)可以布置在所述支撑件上；以及用于在光刻胶(12)的固化的第一阶段与第二阶段之间旋转基板(14)的设备(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 固化 施加 到基板 光刻 至少 一部分 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于使施加到基板(14)的光刻胶(12)至少部分地固化的方法，其中执行以下步骤：将涂覆有所述光刻胶(12)的所述基板(14)布置在支撑件(16)上；使所述光刻胶(12)经受适当的温度以使所述光刻胶(12)固化第一预定时间段；在经过所述第一预定时间段以后，使所述基板(14)从所述支撑件(16)提升、旋转、重新布置在所述支撑件(16)上并且经受适当温度以使所述光刻胶(12)固化第二预定时间段。
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