[发明专利]一种大容量立体集成SRAM存储器三维扩展方法有效
| 申请号: | 201610228199.2 | 申请日: | 2016-04-13 |
| 公开(公告)号: | CN105742277B | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
| 发明(设计)人: | 谢成民;怡磊;单光宝;刘松 | 申请(专利权)人: | 中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所 |
| 主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李宏德 |
| 地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本发明一种大容量立体集成SRAM存储器三维扩展方法,其包括如下步骤,步骤1,确定单位存储芯片的数量;步骤2,在单位存储芯片四周增加TSV孔区域,并且每个单位存储芯片TSV位置坐标均保持一致;步骤3,采用再分布互连线将单位存储器芯片的地址信号,数据信号,读写信号NEW和片选信号CS的端口与该单位存储器芯片上的TSV孔进行互连;步骤4,将所有的单位存储芯片依次堆叠在外围电路上,并将各单位存储器芯片中的数据信号、地址信号、读写使能信号NEW和输出使能信号NOE通过TSV孔互连短接,将各单位存储器芯片的片选信号分别连接到外围电路上;得到三维扩展的大容量立体集成SRAM存储器。 | ||
| 搜索关键词: | 单位存储器 存储芯片 存储器 立体集成 大容量 芯片 三维 地址信号 片选信号 数据信号 外围电路 互连 读写使能信号 读写信号 输出使能 位置坐标 互连线 孔区域 再分布 短接 堆叠 | ||
【主权项】:
1.一种大容量立体集成SRAM存储器三维扩展方法,其特征在于,包括如下步骤,步骤1,根据大容量SRAM存储器的容量和选取的单位存储芯片的容量,得到需要的单位存储芯片的数量;步骤2,在单位存储芯片四周增加TSV孔区域,所增加的TSV孔不影响单位存储器芯片内部单元结构,并且每个单位存储芯片TSV位置坐标均保持一致;步骤3,采用再分布互连线将单位存储器芯片的地址信号,数据信号,读写信号NEW和片选信号CS的端口与该单位存储器芯片上的TSV孔进行互连;步骤4,将所有的单位存储芯片依次堆叠在外围电路上,并将各单位存储器芯片中的数据信号、地址信号、读写使能信号NEW和输出使能信号NOE通过TSV孔互连短接,将各单位存储器芯片的片选信号分别连接到外围电路上;得到三维扩展的大容量立体集成SRAM存储器;片选信号采用包括低电平有效片选信号NCS和高电平有效片选信号CS;各单位存储器芯片中的高电平有效片选信号CS通过TSV孔互连短接;各单位存储器芯片中的低电平有效片选信号NCS分别连接到外围电路上;单位存储芯片进行依次堆叠时,将上层单位存储芯片的TSV凸点与下层单位存储芯片的TSV凸点对应位置进行键合,每层单位存储芯片片选信号均以TSV孔穿层连接至最底层的单位存储芯片。
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