[发明专利]光学损伤元件损伤增长的抑制装置和抑制方法

摘要

一种光学损伤元件损伤增长的抑制装置和抑制方法，装置包括三维移动控制台、角度调整台、元件夹具、元件清洗槽、超声清洗槽、暗场成像CCD相机组件、刻蚀围栏制作器、第一平移控制台、第二平移控制台、监控CCD、挡光板、显示控制处理系统和塑料毛细管。暗场成像CCD相机组件包括CCD相机、相机镜头和LED环形光源。显示控制处理系统为计算机。通过先在光学元件上制作刻蚀围栏，然后采用塑料毛细管投递高浓度HF对损伤点进行刻蚀。本发明可以用于对各种尺寸光学元件表面损伤的损伤增长的抑制，以提升其抗激光损伤的能力。

主权项

一种光学损伤元件损伤增长的抑制装置，其特征在于，该装置包括：三维移动控制台(1)、角度调整台(2)、元件夹具(3)、元件清洗槽(4)、超声清洗槽(5)、暗场成像CCD相机组件(6)、刻蚀围栏制作器(7)、第一平移控制台(8)、第二平移控制台(9)、监控CCD(10)、挡光板(11)、显示控制处理系统(12)和带刻度的塑料毛细管：所述的角度调整台(2)固定在所述的三维移动控制台(1)上，所述的元件夹具(3)固定在所述的角度调整台(2)上，所述的元件夹具(3)供光学元件(13)的夹持和固定，在所述的元件夹具(3)的上方设置所述的第二平移控制台(9)，在该第二平移控制台(9)上分别设置所述的暗场成像CCD相机组件(6)和第一平移控制台(8)，在所述的第一平移控制台(8)上设置所述的刻蚀围栏制作器(7)，在所述的第一平移控制台(8)的一侧向所述的刻蚀围栏制作器(7)设置所述的监控CCD(10)，在所述的元件夹具(3)的下方设置所述的元件清洗槽(4)和超声清洗槽(5)，在所述的元件夹具(3)和所述的元件清洗槽(4)和超声清洗槽(5)之间还有可移动的挡光板(11)，所述的暗场成像CCD相机组件(6)的输出端、刻蚀围栏制作器(7)的输出端和监控CCD(10)的输出端与所述的显示控制处理系统(12)的输入端相连，所述的显示控制处理系统(12)的输出端分别与所述的三维移动控制台(1)的控制端、角度调整台(2)的控制端、刻蚀围栏制作器(7)的控制端、第一平移控制台(8)的控制端、第二平移控制台(9)的控制端相连。