[发明专利]微图案化碳-碳纳米管复合材料电极微加工工艺及应用在审
| 申请号： | 201610209243.5 | 申请日： | 2016-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN105869921A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 何亮;杨艳娟;麦立强 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | H01G11/86 | 分类号： | H01G11/86;H01G11/36;H01G11/32;H01G11/26;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张惠玲 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微图案化碳‑碳纳米管复合材料电极微加工工艺，包括以下步骤：(1)对碳纳米管进行表面改性制得光刻胶‑碳纳米管复合材料；(2)对光刻胶‑碳纳米管复合材料进行紫外光刻等半导体微加工工艺，制得微图案化光刻胶‑碳纳米管复合材料微结构；(3)最后将微图案化光刻胶‑碳纳米管复合材料微结构经过热解碳化过程制得微图案化碳‑碳纳米管复合材料电极。该工艺简单易操作，成本低，可应用于大规模生产，具有较好的机械性能、较高的化学稳定性、较优异的电导性和较好的电化学性能。本发明所制得的微图案化碳‑碳纳米管复合材料电极可作为电极应用于微型超级电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 纳米 复合材料 极微 加工 工艺 应用 | ||
【主权项】：
一种微图案化碳‑碳纳米管复合材料电极微加工工艺，包括以下步骤：(1)对碳纳米管进行表面改性制得光刻胶‑碳纳米管复合材料；(2)对光刻胶‑碳纳米管复合材料进行紫外光刻等半导体微加工工艺，制得微图案化光刻胶‑碳纳米管复合材料微结构；(3)最后将微图案化光刻胶‑碳纳米管复合材料微结构经过热解碳化过程制得微图案化碳‑碳纳米管复合材料电极。
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