[发明专利]水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜

摘要

本发明涉及一种水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜，步骤如下：1)制备四价钒离子水溶液溶胶：在50‑80℃水浴条件下向超纯水中加入柠檬酸，溶解后加入V₂O₅，搅拌得到四价钒离子水溶液，再加入成膜剂，混合均匀得到四价钒离子水溶液溶胶，陈放一天后得到相应凝胶；2)制备多孔二氧化钒薄膜：在干净的基片表面涂布步骤1)所得凝胶，干燥后得到胶膜，将胶膜置于真空管式炉中，抽真空后通入惰性气体，在惰性气氛下热处理得到具有半导体‑金属相变特性的VO₂薄膜。

主权项

1.水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜的方法，其特征在于，步骤如下：1)制备四价钒离子水溶液凝胶：在50‑80℃水浴条件下，向超纯水中加入柠檬酸，完全溶解后，再加入V2O5，搅拌得到四价钒离子水溶液，加入成膜剂，混合均匀得到四价钒离子水溶液溶胶，陈放一天后，得到相应的凝胶；2)制备多孔二氧化钒薄膜：在干净的基片表面涂布步骤1)所得凝胶，真空干燥后得到胶膜，将胶膜置于真空管式炉中，抽真空后通入惰性气体，在惰性气氛下热处理得到具有半导体‑金属相变特性的VO2薄膜；步骤1)所述V2O5与柠檬酸摩尔比为1:2‑5。