[发明专利]静电式振动能量采集器及其制备方法

摘要

一种静电式振动能量采集器，包括变间距式可变电容结构以及偏置电压生成装置；变间距式可变电容结构包括固定极板和运动极板；固定极板包括第一基体和第一电极层；第一基体上开设有凹槽；第一电极层形成于第一基体上开设有凹槽的一面；运动极板与固定极板相对设置；运动极板包括支撑构件、运动质量块和第二电极层；支撑构件用于支撑运动质量块并使得运动质量块位于凹槽上方；运动质量块上与凹槽相对的一面和凹槽内至少有一处设置有凸点；偏置电压生成装置用于生成偏置电压以在固定极板和运动极板之间形成固定电场。上述静电式振动能量采集器的结构简单且稳定性较好。本发明还涉及一种静电式振动能量采集器的制备方法。

主权项

1.一种静电式振动能量采集器，其特征在于，包括变间距式可变电容结构以及偏置电压生成装置；所述变间距式可变电容结构包括固定极板和运动极板；所述固定极板包括第一基体和第一电极层；所述第一基体上开设有凹槽；所述第一电极层形成于所述第一基体上开设有凹槽的一面；所述运动极板与所述固定极板相对设置；所述运动极板包括支撑构件、运动质量块和第二电极层；所述支撑构件与所述第一基体连接；所述支撑构件用于支撑所述运动质量块并使得所述运动质量块位于所述凹槽上方；所述第二电极层形成于所述运动极板上与所述固定极板相对的一面；所述运动质量块上与所述凹槽相对的一面和所述凹槽内至少有一处设置有刻蚀形成的凸点；所述偏置电压生成装置用于生成偏置电压以在固定极板和运动极板之间形成固定电场；其中，在所述运动质量块不受外力时，设置在所述运动质量块上的所述凸点不与所述凹槽接触，设置在所述凹槽上的所述凸点不与所述运动质量块接触；所述偏置电压生成装置为驻极体；所述驻极体覆盖在所述第一电极层表面，且预留有部分裸露的所述第一电极层用于与外部电性连接。