[发明专利]使用公共释放材料形成多堆叠纳米线

摘要

本公开涉及使用公共释放材料形成多堆叠纳米线。一种用于形成多堆叠纳米线器件的方法，包括在衬底上形成公共释放层，公共释放层包含公共释放材料。方法还包括：在公共释放层的第一部分上形成第一多层堆叠，第一多层堆叠包括通过包含公共释放材料的至少一个层分离的至少两个层；以及在公共释放层的第二部分上形成第二多层堆叠，第二多层堆叠包括通过包含公共释放材料的至少一个层分离的至少两个层。方法还包括：将第一多层堆叠和第二多层堆叠中的每个多层堆叠图案化成一个或多个鳍；以及通过使用公共蚀刻工艺去除公共释放材料来从一个或多个鳍形成两个或更多个堆叠纳米线。

主权项

1.一种方法，包括：在衬底上形成公共释放层，所述公共释放层包含公共释放材料；在所述公共释放层的第一部分上形成第一材料的第一多层堆叠，所述第一多层堆叠包括至少两个层，通过包含所述公共释放材料的至少一个层分离；在所述公共释放层的第二部分上形成第二材料的第二多层堆叠，所述第二多层堆叠包括至少两个层，通过包含所述公共释放材料的至少一个层分离，其中所述第一材料不同于所述第二材料；将所述第一多层堆叠和所述第二多层堆叠中的每个多层堆叠图案化成一个或多个鳍；以及通过使用公共蚀刻工艺去除所述公共释放材料来从所述一个或多个鳍形成两个或更多个多堆叠纳米线。