[发明专利]一种基于光纤出射光准直探测的组合悬臂梁探针传感装置及其传感方法在审
| 申请号： | 201610165130.X | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN105841608A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 邹丽敏;张鹏;倪赫;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于光纤出射光准直探测的组合悬臂梁探针传感装置及其传感方法，属于尺寸测量技术领域。为了解决光电探测器必须位于出射光聚焦的像面上，位移放大倍率不可调的问题。本发明所述的激光器的发光口与光纤的一端相连；夹持器固定在光纤上，以光纤被夹持器固定的部分和光纤的另一端作为两个端点的一段光纤构成光纤悬臂梁，所述光纤的另一端为自由端；探针的一端固定在光纤悬臂梁中间部位，触球固定在探针的另一端上；准直透镜位于光纤出射光路上；光电探测器位于光纤出射光路上，并且，准直透镜位于光纤和光电探测器之间。本发明的有益效果为位移放大倍率可根据需要调整。本发明适用于微尺寸和大深径比内腔结构的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光纤 出射光准直 探测 组合 悬臂梁 探针 传感 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基于光纤出射光准直探测的组合悬臂梁探针传感装置，它包括激光器(1)、光纤(2)、夹持器(3)、光电探测器(6)、探针(7)和触球(8)；所述激光器(1)的发光口与光纤(2)的一端相连；夹持器(3)固定在光纤(2)上，以光纤(2)被夹持器(3)固定的部分和光纤(2)的另一端作为两个端点的一段光纤构成光纤悬臂梁(4)，所述光纤(2)的另一端为自由端；所述探针(7)的一端固定在光纤悬臂梁(4)中间部位，触球(8)固定在探针(7)的另一端上；其特征在于，它还包括准直透镜(5)；所述准直透镜(5)位于光纤(2)出射光路上；光电探测器(6)位于光纤(2)出射光路上，并且，准直透镜(5)位于光纤(2)和光电探测器(6)之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610165130.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
