[发明专利]机器人手臂及对基板进行对位的方法

摘要

本发明提供一种机器人手臂，包括底座，设置于底座上的、用于承载基板的承载手臂，用于驱动承载手臂运动的驱动系统，还包括与承载手臂连接的基板对位装置，基板对位装置包括：第一位置信息采集单元，用于获得承载手臂承载基板后，基板位于承载手臂上的第一位置时的第一位置信息；偏移信息获取单元，用于根据第一位置信息与基板位于标准位置时的第二位置信息获得基板的位置偏移信息；调节单元，用于根据位置偏移信息生成一控制信息，使得驱动系统驱动承载手臂移动以将基板投放于目标位置。本发明还提供一种对基板进行对位的方法。通过基板对位装置的设置不改变当前机器人手臂与基板的相对位置关系自动修正位置偏差，防止基板发生碰撞。

主权项

1.一种机器人手臂，包括底座，设置于底座上的、用于承载基板的承载手臂，用于驱动所述承载手臂运动的驱动系统，其特征在于，还包括与所述承载手臂连接的基板对位装置，所述基板对位装置包括：第一位置信息采集单元，用于获得所述承载手臂承载基板后，基板位于承载手臂上的第一位置时的第一位置信息；偏移信息获取单元，用于根据所述第一位置信息与基板位于标准位置时的第二位置信息获得基板的位置偏移信息；调节单元，用于根据所述位置偏移信息生成一控制信息，使得驱动系统驱动承载手臂移动以将基板投放于目标位置；所述底座上设有第一图像传感器和第二图像传感器，所述第一图像传感器和第二图像传感器的位置分别对应于所述承载手臂的相对的两侧，且基板上设置有与所述第一图像传感器对应的第一定位标记、与所述第二图像传感器对应的第二定位标记；所述位置偏移信息包括：第一偏移量，所述第一偏移量Y＝(Y2k‑Y1k)/2，其中，Y1k为基板位于当前位置时，所述第一定位标记的位置与所述第一图像传感器在基板上的视野中心点在第一方向的距离，Y2k为基板位于当前位置时，所述第二定位标记的位置与所述第二图像传感器在基板上的视野中心点在所述第一方向的距离；第二偏移量，所述第二偏移量为基板位于当前位置时，所述第一定位标记的位置与所述第一图像传感器在基板上的视野中心点在第二方向的距离，其中，所述第一定位标记的位置与所述第一图像传感器在基板上的视野中心点在所述第二方向的距离和所述第二定位标记的位置与所述第二图像传感器在基板上的视野中心点在所述第二方向的距离相等；角度偏移量θ，其中，Y1k为基板位于当前位置时，所述第一定位标记的位置与所述第一图像传感器在基板上的视野中心点在所述第一方向的距离，Y2k为基板位于当前位置时，所述第二定位标记的位置与第二图像传感器在基板上的视野中心点在所述第一方向的距离，L为第一图像传感器在基板上的视野中心点到第二图像传感器在基板上的视野中心点的距离；其中，所述第一方向与所述第二方向相垂直。