[发明专利]绝对式光栅尺、其主光栅及其测量方法有效
| 申请号： | 201610157166.3 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105606033B | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李星辉;倪凯;王欢欢;周倩;冒新宇;曾理江;肖翔 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 杨洪龙 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了绝对式光栅尺、其主光栅及其测量方法，绝对式光栅尺包括主光栅和读数头部件，所述读数头部件包括增量位移测量单元，所述读数头部件还包括第一分光镜、掩膜板和参考位置光电探测器，所述主光栅上分布有若干个参考编码，任意相邻的两个参考编码之间的距离与其余任意相邻的两个参考编码之间的距离不相同，所述第一分光镜用于将光源的光分成射向主光栅的光束和射向增量位移测量单元的光束，所述射向主光栅的光束经过所述掩膜板到达所述主光栅并被反射后，再次经过所述掩膜板后被所述参考位置光电探测器接收，所述掩膜板上设有与所述主光栅上的参考编码相对应的参考编码。本发明可用于精密加工和检测领域的精密测量环节。 | ||
| 搜索关键词： | 绝对 光栅尺 光栅 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种绝对式光栅尺，包括主光栅和读数头部件，所述读数头部件包括增量位移测量单元，其特征是，所述读数头部件还包括第一分光镜、掩膜板和参考位置光电探测器，所述主光栅上分布有若干个参考编码，任意相邻的两个参考编码之间的距离与其余任意相邻的两个参考编码之间的距离不相同，所述第一分光镜用于将光源的光分成射向主光栅的光束和射向增量位移测量单元的光束，所述射向主光栅的光束经过所述掩膜板到达所述主光栅并被反射后，再次经过所述掩膜板后被所述参考位置光电探测器接收，所述掩膜板上设有与所述主光栅上的参考编码相对应的参考编码。
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