[发明专利]机械臂和检查系统有效

专利信息
申请号: 201610153574.1 申请日: 2016-03-17
公开(公告)号: CN105702607B 公开(公告)日: 2018-09-25
发明(设计)人: 穆玉海;蒋磊;俞宗强 申请(专利权)人: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66;B25J18/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 胡良均
地址: 100176 北京市大兴区北*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种机械臂和检查系统。机械臂包括:固定滑轮,通过电机驱动;第一滑轮和第二滑轮,分别安装有第一和第二处理装置;和第一和第二对上层缆丝和下层缆丝,两对缆丝都由在操作时不产生颗粒的材料形成,其中第一对中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第一滑轮和固定滑轮上,并且第二对中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第二滑轮和固定滑轮上。公开使用机械臂交换两个样品的技术,其没有运动游隙、没有摩擦、没有颗粒污染。使用独特的结构和用于缆丝的材料,机械臂具体相当长的运行寿命。
搜索关键词: 机械 检查 系统
【主权项】:
1.一种机械臂,包括:固定滑轮,通过电机驱动;第一滑轮,安装有第一处理装置;第二滑轮,安装有第二处理装置;和第一对上层缆丝和下层缆丝和第二对上层缆丝和下层缆丝,两对上层缆丝和下层缆丝都由在操作时不产生颗粒的材料形成,其中第一对上层缆丝和下层缆丝中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第一滑轮和固定滑轮上,并且第二对上层缆丝和下层缆丝中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第二滑轮和固定滑轮上,第一滑轮和第二滑轮分别布置在固定滑轮的相对侧;其中固定滑轮和第一滑轮和第二滑轮中的一个包括至少一个张紧装置和一个固定块,张紧装置和固定块彼此邻近并且被嵌入到所述固定滑轮和第一滑轮和第二滑轮中的一个中,其中固定块被设置用以固定缆丝的端部,张紧装置被设置用以调节缆丝的张紧状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东方晶源微电子科技(北京)有限公司,未经东方晶源微电子科技(北京)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610153574.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top