[发明专利]机械臂和检查系统有效
| 申请号: | 201610153574.1 | 申请日: | 2016-03-17 |
| 公开(公告)号: | CN105702607B | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
| 发明(设计)人: | 穆玉海;蒋磊;俞宗强 | 申请(专利权)人: | 东方晶源微电子科技(北京)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66;B25J18/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 胡良均 |
| 地址: | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种机械臂和检查系统。机械臂包括:固定滑轮,通过电机驱动;第一滑轮和第二滑轮,分别安装有第一和第二处理装置;和第一和第二对上层缆丝和下层缆丝,两对缆丝都由在操作时不产生颗粒的材料形成,其中第一对中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第一滑轮和固定滑轮上,并且第二对中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第二滑轮和固定滑轮上。公开使用机械臂交换两个样品的技术,其没有运动游隙、没有摩擦、没有颗粒污染。使用独特的结构和用于缆丝的材料,机械臂具体相当长的运行寿命。 | ||
| 搜索关键词: | 机械 检查 系统 | ||
【主权项】:
1.一种机械臂,包括:固定滑轮,通过电机驱动;第一滑轮,安装有第一处理装置;第二滑轮,安装有第二处理装置;和第一对上层缆丝和下层缆丝和第二对上层缆丝和下层缆丝,两对上层缆丝和下层缆丝都由在操作时不产生颗粒的材料形成,其中第一对上层缆丝和下层缆丝中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第一滑轮和固定滑轮上,并且第二对上层缆丝和下层缆丝中的上层缆丝和下层缆丝的两端分别固定在第二滑轮和固定滑轮上,第一滑轮和第二滑轮分别布置在固定滑轮的相对侧;其中固定滑轮和第一滑轮和第二滑轮中的一个包括至少一个张紧装置和一个固定块,张紧装置和固定块彼此邻近并且被嵌入到所述固定滑轮和第一滑轮和第二滑轮中的一个中,其中固定块被设置用以固定缆丝的端部,张紧装置被设置用以调节缆丝的张紧状态。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





