[发明专利]测量光阻膜厚的方法有效
| 申请号： | 201610150889.0 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN105806205B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘静;李启明 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;侯艺 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量光阻膜厚的方法，所述方法包括：A)随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚；B)识别探针划过的每个位置的光阻的颜色；C)输出以识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线；D)根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。在根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法中，通过将膜厚曲线中各种颜色的光阻的膜厚曲线段表示为各自的颜色，显示膜厚曲线时同步显示光阻的颜色，方便测量人员直接辨别各段光阻的颜色，可提高薄膜测量仪的手动测量以及设置菜单时的准确性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 光阻膜厚 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量光阻膜厚的方法，其特征在于，包括：A、随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚；B、识别探针划过的每个位置的光阻的颜色；C、输出已识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线；D、根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。
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