[发明专利]化学机械抛光多区压力在线控制算法有效
| 申请号： | 201610139592.4 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN105773397B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 李弘恺;田芳馨;吴云龙;林达义;王同庆;李昆;路新春 | 申请（专利权）人： | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/16 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提出一种化学机械抛光多区压力在线控制算法，包括以下步骤分别获取抛光头的各压力分区的零点偏移量；根据抛光头的各压力分区的零点偏移量，分别对CMP抛光头系统的各路气压传感器的测量值进行修正，并将修正后的测量值作为各路气压传感器的最终输出值；计算各路气压传感器的最终输出值与对应压力分区的预设压力值之间的偏差量；根据偏差量实时计算CMP抛光头系统的相应电气比例阀的控制量；根据控制量对相应电气比例阀的开度进行控制。本发明的控制算法简便有效，方便调节，同时具有较强的适应能力。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 压力 在线 控制 算法 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光多区压力在线控制算法，其特征在于，包括以下步骤：分别获取所述抛光头的各压力分区的零点偏移量；根据所述抛光头的各压力分区的零点偏移量，分别对CMP抛光头系统的各路气压传感器的测量值进行修正，并将修正后的测量值作为所述各路气压传感器的最终输出值；计算所述各路气压传感器的最终输出值与对应压力分区的预设压力值之间的偏差量；根据所述偏差量实时计算所述CMP抛光头系统的相应电气比例阀的控制量；以及根据所述控制量对所述相应电气比例阀的开度进行控制，其中，采用增量式PI控制算法，即将当前计算得到的控制增量与上一时刻计算得到的控制量之和作为所述相应电气比例阀的当前控制量，其中控制增量的计算公式为：Δu(n)＝Kp·Δe(n)+αKi′e(n)，其中，定义Kp为比例项系数，Ki′作为改良后的积分项系数，Δe(n)为气压传感器的最终输出值与对应压力分区的预设压力值之间的当前偏差量e(n)和上一时刻偏差量e(n‑1)的差值，α为变积分增益系数。
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