[发明专利]具有多个溅射源的反应溅射在审
| 申请号： | 201610136387.2 | 申请日： | 2010-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN105568242A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | M.杜布斯;K.鲁姆;H.罗尔曼 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康先进科技股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 陈岚 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及具有多个溅射源的反应溅射。用于通过反应溅射来涂覆衬底(14)的设备(1)包括轴(8)；关于所述轴(8)成对称布置的至少两个目标(11,12)，以及连接到目标(11,12)的电源，其中目标能交替地作为阴极和阳极工作。该方法为制造涂覆的衬底(14)的方法，其通过在包括轴(8)的设备(1)中进行反应溅射来涂覆衬底(14)。该方法包括：a)提供待涂覆的衬底(14)；b)提供关于所述轴(8)成对称布置的至少两个目标(11,12)；c)在涂覆期间交替地操作所述目标(11,12)作为阴极和阳极。优选地，在溅射期间旋转目标(11,12)和/或目标被同心地布置，且最内部的圆形目标被至少一个环形外部目标包围。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 溅射 反应 | ||
【主权项】：
一种用于通过反应溅射来涂覆衬底(14)的设备(1)，包括轴(8)；关于所述轴(8)成对称布置的至少两个目标(11, 12)；用于运载所述衬底(14)的衬底运载器(5)；以及用于绕所述轴(8)旋转所述衬底运载器(5)的装置；以及连接到所述目标(11, 12)的电源(15)，其中电源被配置成交替地操作所述目标作为阴极和阳极，以使得当一个目标被操作为阳极的同时，一个或多个其它目标被操作为阴极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康先进科技股份公司，未经欧瑞康先进科技股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610136387.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
