[发明专利]一种以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器

摘要

本发明公开了一种以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器，包括衬底、金属电极、氮掺杂石墨烯叉指电极和氟化氮掺杂石墨烯；其中，所述衬底的上表面两侧分别覆盖一金属电极；在两个金属电极之间的衬底的上表面、两个金属电极的上表面和内侧壁上覆盖氮掺杂石墨烯叉指电极，金属电极上表面的氮掺杂石墨烯叉指电极的两翼的覆盖范围小于金属电极的边界；在两个金属电极之间的衬底和氮掺杂石墨烯叉指电极的上表面覆盖氟化氮掺杂石墨烯。本发明提供的以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器所用材料以氮掺杂石墨烯为基本材料，制备过程简单，成本低，易于实现柔性光电探测器。

主权项

一种以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器，其特征在于，包括衬底(1)、金属电极(2)、氮掺杂石墨烯叉指电极(3)和氟化氮掺杂石墨烯(4)；其中，所述衬底(1)的上表面两侧分别覆盖一金属电极(2)；在两个金属电极(2)之间的衬底(1)的上表面、两个金属电极(2)的上表面和内侧壁上覆盖氮掺杂石墨烯叉指电极(3)，金属电极(2)上表面的氮掺杂石墨烯叉指电极(3)的两翼的覆盖范围小于金属电极(2)的边界；在两个金属电极(2)之间的衬底(1)和氮掺杂石墨烯叉指电极(3)的上表面覆盖氟化氮掺杂石墨烯(4)。