[发明专利]基于交联控制转移印刷的PDMS弹性体微纳加工方法

摘要

本发明公开了一种基于交联控制转移印刷的PDMS弹性体微纳加工方法，包括利用浇筑法制备PDMS膜作为转移印刷的基底，利用复制模铸法制备带有表面微结构的PDMS膜作为转移印刷的印章；在制备基底和印章过程中，通过所用交联剂含量不同，引入PDMS印章和平面PDMS基底间内聚能(软/硬)差异；对制备得到的基底和印章同时进行OP处理0.5min，然后立即将两者贴合进行加热处理，提高印章与基底间的接触粘附作用，取下印章，使二者分离时“软方”发生内聚能断裂提供PDMS“墨水”转移至“硬方”，即得到表面具有凹陷或凸起图案的PDMS膜。本发明操作简便，成本低，避免了其他相关技术适用范围有限，加工图案简单的缺点。

主权项

一种基于交联控制转移印刷的PDMS弹性体微纳加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、利用复制模铸法制备带有表面微结构的PDMS膜作为转移印刷的印章：将PDMS预聚体和交联剂按质量比为m:1混合，其中，m＝10或20；用玻璃棒充分搅拌形成均匀的预聚合物；将上述预聚合物在循环水式多用真空泵中脱气1小时后，浇筑到母模板上；在70℃下加热4h进行固化；揭下的膜即为所得印章；步骤二、利用浇筑法制备PDMS膜作为转移印刷的基底：将PDMS预聚体和交联剂按质量比为n:1混合，其中，m＝10时，n＝20或n＝30，m＝20时，n＝5或n＝10；用玻璃棒充分搅拌形成均匀的预聚合物；将上述预聚合物在循环水式多用真空泵中脱气1小时后，浇筑到表面皿中；在70℃下加热4h进行固化；获得厚度可调的PDMS膜；步骤三、对步骤一制备得到的印章和步骤二制备得到的基底同时进行氧等离子体表面活化处理0.5min，然后立即将上述处理后的印章和基底贴合并在鼓风干燥箱中100℃下加热保温1h，随炉冷却至室温，取下印章，得到表面具有凹陷或凸起图案的PDMS膜。