[发明专利]用于氮化钛层的蚀刻剂组合物及使用其形成金属线的方法在审
| 申请号： | 201610111879.6 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN105936822A | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 洪亨杓;梁振锡;洪宪杓;金相泰;李京浩 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/04 | 分类号： | C09K13/04;C09K13/06;C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供用于TiN层的蚀刻剂组合物和使用所述蚀刻剂组合物形成金属线的方法，所述蚀刻剂组合物包括(A)以重量计75％‑95％的选自硫酸和烷基磺酸中的至少一种化合物、(B)以重量计0.3％‑10％的过氧化物、(C)以重量计0.0001％‑3％的无机铵盐以及(D)余量的水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氮化 蚀刻 组合 使用 形成 金属线 方法 | ||
【主权项】：
用于TiN层的蚀刻剂组合物，包括：(A)以重量计75％‑95％的选自硫酸和烷基磺酸中的至少一种化合物；(B)以重量计0.3％‑10％的过氧化物；(C)以重量计0.0001％‑3％的无机铵盐；以及(D)余量的水。
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