[发明专利]形状测量装置及加工装置在审
| 申请号： | 201610111862.0 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN105983903A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 市原浩一;高娜 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种形状测量装置及加工装置，该形状测量装置能够高精度地对测量对象物的表面形状进行测量。本发明的形状测量装置通过将3个位移计配设成一列而成的检测仪对测量对象物进行扫描，并对所述测量对象物的表面形状进行测量，该形状测量装置具备：包覆机构，其设置在所述检测仪并覆盖所述3个位移计，且在所述3个位移计与所述测量对象物之间具有开口；及鼓风机构，向所述包覆机构的内部送风。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 装置 加工 | ||
【主权项】：
一种形状测量装置，其利用具有位移计的检测仪对测量对象物进行扫描，并对所述测量对象物的表面形状进行测量，所述形状测量装置的特征在于，具备，鼓风机构，所述鼓风机构向所述位移计与所述测量对象物之间送风。
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