[发明专利]压力传感器

摘要

一种或多种反应性气体被引入到内和外电容式电极之间的一个或多个特定区域处的电容式压力计，从而正和负弯曲的导致误差的测量影响被抵消或最小化。此外，保护结构可用于电容式压力计的电极结构。保护结构呈现对于气体扩散进入到膜片内相对不敏感的一个区域，结果改变表面张力、曲率和偏转，从而提供压力计的零读数和压力读数的提高的或最佳的稳定性。保护件也可提供电极的静电隔离。

主权项

1.一种电容式压力计组件，包括：膜片，所述膜片包括导电材料；电极结构，所述电极结构包括内电极、外电极以及设置于所述内电极与所述外电极之间的保护结构，所述保护结构具有对于反应气体扩散进入到膜片内不敏感的一个或多个区域，其中所述膜片能够相对于所述电极结构在(ⅰ)当所述膜片的每一侧上的压力相同时的零位置，与(ii)当最大的可测量压差被施加到所述膜片时的最大差分位置之间移动；支撑结构，所述支撑结构被布置成支撑所述膜片，使得所述膜片相对于所述电极结构受到限制，并且所述膜片与所述内电极和外电极间隔开，并且相对于所述压力计的对准轴线与所述内电极和外电极轴向对准；挡板，所述挡板具有一个或多个孔，所述孔被配置成允许气体到达邻近所述膜片的区域，其中所述一个或多个孔在策略上相对于所述保护结构定位，以使所述挡板使得由于压力以外的影响而对膜片的表面变形造成的影响最小化；以及其中所述挡板中的一个或多个孔被配置成在与所述电容式压力计组件的所述对准轴线平行的方向上与所述电极或电极之一和所述电极结构的所述保护结构之间的间隙对准。