[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种光学位置测量装置，其用于探测相对彼此运动的两个物体的位置。光学位置测量装置包括与两个物体中的一个相连接的量具，并且具有测量刻度，其带有沿着至少一个第一刻度方向周期性地布置的刻度区域。位置测量装置还包括具有多个光学元件的扫描单元，其相对于量具可运动地布置。通过布置和构造扫描单元的光学元件引起扫描光路，在其中形成干涉的子光束关于对称平面镜像对称地传播并且或者V形地射到量具上和/或通过量具经历V形的背向反射。对称平面以限定的倾斜角围绕转动轴线倾斜，其平行于量具的表面定向并且垂直于第一刻度方向延伸。

主权项

1.一种用于探测相对彼此可运动的两个物体的位置的光学位置测量装置，包括‑量具，其与两个物体中的一个相连接并且包括测量刻度，该测量刻度具有沿着至少一个第一刻度方向周期性地布置的刻度区域，以及‑扫描单元，其包括多个光学元件，并且该扫描单元相对于该量具可运动地布置，其中，通过布置和构造扫描单元的光学元件引起扫描光路，在其中形成干涉的子光束关于对称平面镜像对称地传播，并且V形地射到量具上或通过量具经历V形的背向反射，其中对称平面以限定的倾斜角围绕转动轴线倾斜，该转动轴线平行于量具的表面定向并且垂直于第一刻度方向延伸；以及其中测量刻度的刻度周期和倾斜角如此选择，以致于在扫描单元中的扫描光路与在未倾斜的状态中的扫描光路相同，在该未倾斜的状态中，对称平面垂直于量具的表面定向。