[发明专利]氧化硅玻璃坩埚的制造装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201610087281.8 | 申请日： | 2010-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN105712614A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 须藤俊明;铃木江梨子;岸弘史;藤田刚司 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 日本秋田县*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在氧化硅玻璃坩埚的制造工程中，提供可防止内表面特性的降低的氧化硅玻璃坩埚的制造装置，以及氧化硅玻璃坩埚的制造方法。本发明的氧化硅玻璃坩埚的制造装置，具备限定氧化硅玻璃坩埚的外形的模具，具有多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元，上述多个电极各自分别具有朝向上述模具的前端部，作为该前端部的相反侧端部的他端部，以及设置与上述前端部与上述他端部之间的弯曲部。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 玻璃 坩埚 制造 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化硅玻璃坩埚的制造装置，其特征在于具备：限定氧化硅玻璃坩埚的外形的模具；以及具备多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元；其中，上述多个电极中的各个电极具有：朝向上述模具的前端部、作为上述前端部的相反侧端部的他端部，以及设置于上述前端部和上述他端部之间的弯曲部；其中，上述多个电极中的各个电极具有的前端部附近存在高温部，通过将上述电极前端部的高温部靠近到上述氧化硅玻璃坩埚的氧化硅粉层的侧壁内面上，由此改善上述侧壁内面的气泡去除效率。
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