[发明专利]一种基于波带片的六维高精度快速对准、测量系统

摘要

本发明公开了一种基于波带片的六维高精度快速对准、测量系统，可以实现快速高精度空间复位对准和测量。六维高精度对准实际上是空间姿态定位，其难点在于同时同步测量六个自由度存在很大的困难。例如，目前荷兰ASML最新一代光刻机其专利所采用的是两块同型二维光栅进行（二维）对准用于对晶圆和投影镜头之间的复位，垂直于栅面的方向则通过激光干涉测量定位，这样就需要一个分步探测逐渐调整的过程，而且要求两种测量之间进行复杂的位置关系标定和协调运动。本发明则提供另一种对准系统和方案，可以实现同时同步六维高精度对准及测量。

主权项

一种基于波带片的六维高精度快速对准、测量系统，其特征在于：包括二维波带片、准直后的激光光源、多个光电感应探头、靶面板、控制电路、支撑支架；光电感应探头固定在靶面板上，二维波带片位于准直后的激光光源与靶面板之间，激光光源、二维波带片、靶面板按照上述位置关系固定在支撑支架上，通过支撑支架将上述部件与待对准装置的相对位置固定配合，控制电路与光电感应探头、待对准装置的运动机构连接；所述的多个光电感应探头沿着由靶面板的水平中线和竖直中线组成的十字线固定，当靶面板相对于二维波带片有面间不平行、面间距不与焦距相等、有旋转、平移偏量的情况，则上述光电感应探头出现相应的光强变化；所述多个光电感应探头的布置方案包括以下情况：1)光电感应探头的中心与靶面板上的水平中线、竖直中线重合；2)光电感应探头的中心偏离靶面板的水平中线、竖直中线一定的距离，该距离经过精密标定测量，并作为探头的基本信息由控制电路使用；所述光电感应探头为四象限二极管，四象限二极管探头的每个探头均设置相对旋转角度，不同的四象限二极管之间有转角差异，相对于由靶面板上水平中线和竖直中线组成的十字线的转角量由高精密手段标定测量，并作为探头的基本信息由控制电路使用；还包括有光强调节装置，光强调节装置与光电感应探头的控制电路关联，以实现光强的快速亮暗扫描变化。