[发明专利]扫描反射镜监测系统及方法、调焦调平系统有效
| 申请号： | 201610052984.7 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN106997152B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 范纪铭;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种扫描反射镜监测系统及方法、调焦调平系统，其中，所述扫描反射镜监测系统包括简谐运动探测单元和信号处理单元，所述简谐运动探测单元监测扫描反射镜的简谐运动，并产生简谐信号，所述信号处理单元接收所述简谐信号，根据所述简谐信号的变化控制扫描反射镜驱动单元对所述扫描反射镜进行振幅和位置调整。本发明的技术方案通过简谐运动探测单元监测扫描反射镜的简谐运动，并产生简谐信号，所述信号处理单元接收所述简谐信号，监测其光强值曲线的变化，根据所述简谐信号的变化控制扫描反射镜驱动单元对所述扫描反射镜进行振幅和位置调整。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 反射 监测 系统 方法 调焦 | ||
【主权项】：
1.一种扫描反射镜监测系统，其特征在于，包括简谐运动探测单元和信号处理单元，所述简谐运动探测单元监测扫描反射镜的简谐运动，并产生简谐信号，所述信号处理单元接收所述简谐信号，绘制周期性的光强值曲线，监测所述光强值曲线的变化，记为光强变化曲线；如果所述光强变化曲线的最大值小于原始曲线的最大值，则判定为所述扫描反射镜发生位置漂移；如果所述光强变化曲线的最大值等于原始曲线的最大值而最小值发生偏移，则判定为所述扫描反射镜发生振幅偏移；根据所述简谐信号的变化控制扫描反射镜驱动单元对所述扫描反射镜进行振幅和位置调整；/n所述简谐运动探测单元包括第一照明单元、第一投影单元及第一探测单元，所述第一照明单元发出的测量光束经所述第一投影单元产生探测光斑后，照射到所述扫描反射镜上形成反射光束；/n所述扫描反射镜包括相互平行的两个平面，所述探测光斑照射在其中任何一个平面上。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610052984.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
