[发明专利]基于光干涉的位移测量装置有效
| 申请号： | 201610052806.4 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN105674888B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 林澎;孙荣敏;龙盛保;胡江如;韦家见;陈水清;唐丽媛;李金丽;林伟健;龚英姬 | 申请（专利权）人： | 广西科技大学鹿山学院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 周小芹 |
| 地址： | 545616 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 一种基于光干涉的位移测量装置，涉及一种位移测量装置，在激光发射装置的光路上设置第一分光棱镜，第一分光棱镜的分光光路A上设置第二分光棱镜，第二分光棱镜的分光光路C上设有光学谐振腔、第一光电接收装置；分光光路D上设置第一、二直角反射棱镜组，该反射棱镜组的一端与第一、二反射镜连接，另一端与驱动器连接，其反射光回到第二分光棱镜形成分光光路F，分光光路F上设有第三分光棱镜；分光光路B上设置第四分光棱镜，第四分光棱镜的分光光路E上设置直角反射镜，其反射光进入第三分光棱镜，第三分光棱镜的分光光路G上设置第二光电接收装置。本发明的测量精度高，量程大，可从nm级跨越至m级，而且还可大大提高系统的响应时间。 | ||
| 搜索关键词： | 分光棱镜 分光光路 位移测量装置 光电接收装置 反射光 光干涉 激光发射装置 直角反射棱镜 测量精度高 反射棱镜组 光学谐振腔 驱动器连接 直角反射镜 反射镜 量程 响应 | ||
【主权项】：
1.一种基于光干涉的位移测量装置，其特征在于：包括激光发射装置（1）、第一分光棱镜（2）、第二分光棱镜（3）、第三分光棱镜（9）、第四分光棱镜（10）、第一反射镜（4）、第二反射镜（5）、第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）、第一光电接收装置（6）、第二光电接收装置（12）、驱动器（13）；其中：所述的激光发射装置（1）发射出的激光光路上设置第一分光棱镜（2），第一分光棱镜（2）的分光光路包括分光光路A、分光光路B；所述的分光光路A上设置第二分光棱镜（3），第二分光棱镜（3）的分光光路包括分光光路C、分光光路D；所述的分光光路C上设有光学谐振腔，该光学谐振腔由第一反射镜（4）、第二反射镜（5）构成；光学谐振腔之后设置有所述的第一光电接收装置（6）；第二分光棱镜（3）的分光光路D上设置有所述的第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8），第一直角反射棱镜组（7）的一端与第一反射镜（4）固定连接，第二直角反射棱镜组（8）的一端与第二反射镜（5）固定连接，第一直角反射棱镜组(7)、第二直角反射棱镜组（8）的另一端与驱动器（13）连接，第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）的反射光回射到第二分光棱镜（3）形成分光光路F，第二分光棱镜（3）的分光光路F上设有所述的第三分光棱镜（9）；所述的第一分光棱镜（2）的分光光路B上设置第四分光棱镜（10），第四分光棱镜（10）的分光光路E上设置有直角反射镜（11），直角反射镜（11）的反射光进入第三分光棱镜（9），第三分光棱镜（9）的分光光路G上设有所述的第二光电接收装置（12）。
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