[发明专利]扫描型电子显微镜

摘要

本实施方式涉及可以进行高吞吐量下的试样的表面分析的SEM。该SEM具备电子枪、照射部和检测器。作为检测器的第一结构，包括MCP、阳极和倍增极。倍增极设定为比MCP输出面高的电位，阳极设定为比倍增极高的电位。阳极配置在比MCP输出面和倍增极的中间位置更靠近倍增极侧的位置。另外，阳极具有使来自MCP输出面的电子向倍增极通过的开口。

主权项

1.一种扫描型电子显微镜，其特征在于，具备：产生电子束的电子枪；一边扫描试样上的电子束照射位置一边向所述试样照射所述电子束的照射部；及检测对应于向所述试样的电子束照射而在所述试样产生的电子的检测器，所述检测器包括：微通道板，其为使对应于在所述试样产生的电子的入射而产生的二次电子倍增的微通道板，具有设置于来自所述试样的电子所到达的位置的输入面、和与所述输入面相对的、输出倍增了的所述二次电子的输出面；倍增极，其为相对于所述输出面而设置于所述输入面的相反侧的、使从所述输出面输出的二次电子倍增的倍增极，设定为比所述输出面的电位高的电位；阳极，其为设置于从所述倍增极到所述输出面及所述倍增极间的中间位置为止的空间内的、收集由所述倍增极倍增的二次电子的阳极，具有使从所述输出面输出的二次电子向所述倍增极通过的开口，并且设定为比所述倍增极的电位高的电位，与所述微通道板的所述输出面相对配置的所述倍增极和所述阳极的电位差为100～200V。