[发明专利]一种基于MEMS微结构结合力强化的涂层制备方法

摘要

本发明公开一种基于MEMS微结构结合力强化的涂层制备方法，所述方法步骤包括1)将高温合金基片表面打磨平整，去除表面氧化层；2)采用微加工工艺在基片表面加工形成规则的阵列微结构，微结构最小尺寸为1μm以上；3)将基片依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗干净，烘干；4)采用等离子喷涂技术在基片表面喷涂得到陶瓷涂层，涂层厚度为1μm以上。本发明能以高效率制备一种在高温下仍具有良好结合力和热稳定性的功能性涂层，结合牢固，且制备工艺更为灵活。

主权项

一种基于MEMS微结构结合力强化的涂层制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：1)将高温合金基片表面打磨平整，去除表面氧化层；2)采用微加工工艺，在经过1)处理后的高温合金基片表面加工形成规则的阵列微结构，微结构最小尺寸为1μm以上；3)将经过2)处理的高温合金基片依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗干净，烘干；4)采用等离子喷涂技术，在经过3)处理后的高温合金表面喷涂得到涂层，涂层厚度为1μm以上。