[发明专利]沉积装置及使用其的显示装置的制造方法

摘要

提供沉积装置及使用其的显示装置制造方法，沉积装置包括内部定义有沿第一方向排列的第一和第二区域的第一腔室、在第一腔室内部与第一区域重叠的第一图案掩模组件、在第一腔室内部沿与第一方向相交的第二方向移动的同时向第一图案掩模组件排放沉积物质的第一沉积源、沿第一方向与第一腔室相隔开且定义有沿第一方向排列的第一和第二区域的第二腔室、在第二腔室内部与第二区域重叠的第二图案掩模组件、在第二腔室内部沿第二方向移动的同时向第二图案掩模组件排放沉积物质的第二沉积源、以及在第一腔室内部与第二区域对应地布置在第一图案掩模组件与第一沉积源之间并在第二腔室内部与第一区域对应地布置在第二图案掩模组件和第二沉积源之间的挡板。

主权项

一种沉积装置，包括：第一腔室，所述第一腔室的内部定义有沿着第一方向排列的第一区域和第二区域；第一图案掩模组件，在所述第一腔室的内部布置成与所述第一区域重叠；第一沉积源，布置在所述第一腔室的内部，并且在沿着与所述第一方向相交的第二方向移动的同时朝着所述第一图案掩模组件侧排放沉积物质；第二腔室，排列成沿着所述第一方向与所述第一腔室相隔开，并且以与所述第一腔室相同的方式在所述第二腔室的内部定义有沿着所述第一方向排列的第一区域和第二区域；第二图案掩模组件，在所述第二腔室的内部布置成与所述第二区域重叠；第二沉积源，布置在所述第二腔室的内部，并且在沿着所述第二方向移动的同时，朝着所述第二图案掩模组件侧排放沉积物质；以及挡板，在所述第一腔室的内部与所述第二区域相对应地布置在所述第一图案掩模组件与所述第一沉积源之间，并且在所述第二腔室的内部与所述第一区域相对应地布置在所述第二图案掩模组件与所述第二沉积源之间。