[发明专利]激光光线的检查方法有效
| 申请号： | 201610020628.7 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN105798453B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 冈田繁史 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/50 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供激光光线的检查方法，能够短时间且低成本地检查激光光线的状态。其包含如下步骤：检查用膜配设步骤，在具有第1面(11a)和第1面的相反侧的第2面(11b)的检查用板状物(11)的第1面上形成因吸收透过检查用板状物的波长的激光光线(L1、L2)而熔融的检查用膜(13)；改质层形成步骤，使检查用膜与卡盘工作台(4)的保持面(4a)相对而利用卡盘工作台保持检查用板状物，并从第2面侧照射该激光光线以使其在检查用板状物的内部会聚而在检查用板状物的内部形成改质层(19)；检查步骤，根据因通过了检查用板状物的激光光线而形成于检查用膜的熔融痕(21、21a、21b)来检查激光光线的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 光线 检查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光光线的检查方法，其特征在于，包含如下的步骤：检查用膜配设步骤，在具有第1面和该第1面的相反侧的第2面的检查用板状物的该第1面上形成检查用膜，该检查用膜吸收透过该检查用板状物的波长的激光光线而熔融；改质层形成步骤，在实施了该检查用膜配设步骤之后，使该检查用膜与卡盘工作台的保持面相对而利用该卡盘工作台保持该检查用板状物，并从该第2面侧照射该激光光线以使其在该检查用板状物的内部会聚而在该检查用板状物的内部形成改质层；以及检查步骤，在实施了该改质层形成步骤之后，根据因通过了该检查用板状物的该激光光线而形成于该检查用膜的熔融痕来检查该激光光线的状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610020628.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
