[发明专利]温度自补偿型光纤EFPI超声波传感器的制作方法

摘要

本发明公开了一种温度自补偿型光纤EFPI超声波传感器的制作方法。该制作方法主要包括传感器头单元的制作和传感器的装配，先将膜片焊接在毛细管的端部，然后将光纤固定在套头支架内，再将光纤和套头支架从毛细管的另一端置入毛细管内并最后将套头支架与毛细管焊接固定，使膜片的内表面、光纤的前端面以及毛细管的内表面共同界定形成一个法布里-帕罗腔；最后将所述制作好的传感器头单元装配至传感器体单元的内部并封装固定。该制作方法提高了传感器批量制作的一次成功率和性能一致性，提高传感器可靠性和使用寿命。也实现F-P腔腔长的精确定位和精确的定点焊接，保证对超声波信号有很高的灵敏度和测量精度。

主权项

一种温度自补偿型光纤EFPI超声波传感器的制作方法，该温度自补偿型光纤EFPI超声波传感器包括传感器体单元和设置在该传感器体单元内部的传感器头单元，所述传感器头单元包括毛细管、膜片以及设置在毛细管内的光纤和套头支架，其特征在于该制作方法包括以下步骤：传感器头单元的制作，先将膜片焊接在毛细管的端部，然后将光纤固定在套头支架内，再将光纤和套头支架从毛细管的另一端置入毛细管内并最后将套头支架与毛细管焊接固定，使膜片的内表面、光纤的前端面以及毛细管的内表面共同界定形成一个法布里‑帕罗腔；将所述制作好的传感器头单元装配至传感器体单元的内部并封装固定。