[发明专利]易调节的气体密度测量系统及其测量方法有效
申请号: | 201610016650.4 | 申请日: | 2016-01-11 |
公开(公告)号: | CN105606488B | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 冯珂;李文涛;王文涛;余昌海;方明;吴颖;齐荣;张志钧;刘建胜;王成;冷雨欣;李儒新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N9/24 | 分类号: | G01N9/24 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯;张宁展 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种易调节的气体密度测量系统,包括格林棱镜、透镜、直角反射棱镜、可调节光学镜架、水平导轨、CCD,本发明能够有效的测量气体密度的分布,具有操作简单,方便高效,应用范围广泛的优点。本发明利用光束进入直角反射棱镜后平行于原光束出射的特点,实现调节直角反射棱镜时,只有一个维度上对光束产生影响,从而降低系统调节的复杂性。本发明可用于激光等离子体相互作用的领域,特别是等离子体尾波场加速电子机制中,探测等离子体通道的形成以及气体密度的分布。 | ||
搜索关键词: | 调节 气体 密度 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种易调节的气体密度测量系统,特征在于包括:具有入射窗片(1)和出射窗片(9)的真空腔,探测光束经过该入射窗片(1)进入到该真空腔内,在该真空腔内沿探测光路方向依次在光学平台上固定有第一反射镜(2)、第二反射镜(3)、第一激光衰减片(4)、起偏格林棱镜(5)、第三反射镜(6)和短焦透镜(8),探测光束经出射窗片(9)输出,在所述的第三反射镜(6)和短焦透镜(8)之间设有喷气阀(7),该喷气阀(7)通过气体管道与真空腔外部气体瓶相连接,通过气体瓶开关控制是否喷气;沿所述的出射窗片(9)的输出光束方向依次放置有长焦透镜(10)、小孔光阑(11)和分光镜(12),该分光镜(12)将探测光束分为透射光束和反射光束,透射光束为光束一,反射光束为光束二,所述长焦透镜(10)与短焦透镜(8)之间的距离为两透镜的焦距之和;在所述光束一光路方向设有第一直角反射棱镜(13),该第一直角反射棱镜(13)的三角形平面固定于第一可调节光学镜架(17)的上表面,该第一直角反射棱镜(13)的斜边所对应的平面与光束一的光路方向垂直,所述光束一经该第一直角反射棱镜(13)反射后再经所述分光镜(12)反射后通过第二激光衰减片(15)进入CCD(16);在所述光束二光路方向设有第二直角反射棱镜(14),该第二直角反射棱镜(14)三角形平面固定于第二可调节光学镜架(21)的侧面,该第二可调节光学镜架(21)固定在水平导轨(26)上,第二直角反射棱镜(14)的斜边所对应的平面与光束二的光路方向垂直,所述光束二经过第二直角反射棱镜(14)反射后,再经所述分光镜(12)透射后通过第二激光衰减片(15)进入CCD(16),与光束一发生干涉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所,未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610016650.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种聚合物溶液粘度损失在线检测系统及工艺
- 下一篇:一种测定系统