[发明专利]电熔丝位单元阵列中电熔丝的缺陷检测方法及电路有效
| 申请号： | 201610015640.9 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN106960688B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 罗睿明;陈先敏;邱星福;杨家奇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56;G11C29/54 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电熔丝位单元阵列中的电熔丝缺陷检测方法及电路，所述电熔丝位单元阵列包括至少一个电熔丝位单元，所述电熔丝位单元包括所述电熔丝，所述电熔丝位单元阵列中的电熔丝缺陷检测方法包括：每一次检测时，在所述电熔丝单元阵列中选中一个电熔丝位单元，灵敏放大器的输入端经由选中的电熔丝位单元形成对地通路，从所述灵敏放大器的输出端读出检测结果；读出检测结果之后且在下一次检测之前，断开所述灵敏放大器的输入端的对地通路，以使得所述灵敏放大器的输出端输出逻辑高电平。本发明实施例可以对电熔丝位单元阵列中的电熔丝的缺陷进行检测，并可以提高所述电熔丝的缺陷检测的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 电熔丝位 单元 阵列 中电熔丝 缺陷 检测 方法 电路 | ||
【主权项】：
一种电熔丝位单元阵列中的电熔丝缺陷检测方法，所述电熔丝位单元阵列包括至少一个电熔丝位单元，所述电熔丝位单元包括所述电熔丝，所述电熔丝缺陷检测方法包括：每一次检测时，在所述电熔丝单元阵列中选中一个电熔丝位单元，灵敏放大器的输入端经由选中的电熔丝位单元形成对地通路，从所述灵敏放大器的输出端读出检测结果；其特征在于，读出检测结果之后且在下一次检测之前，断开所述灵敏放大器的输入端的对地通路，以使得所述灵敏放大器的输出端输出逻辑高电平。
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