[发明专利]薄膜晶体管基底和制造薄膜晶体管基底的方法有效
| 申请号: | 201610013502.7 | 申请日: | 2016-01-11 |
| 公开(公告)号: | CN105810751B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
| 发明(设计)人: | 柳明官;金亿洙;孙暻锡;崔昇夏;金昭娟;金贤;朴恩惠;朱炳焕 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/40 |
| 代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 尹淑梅 |
| 地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 提供了一种薄膜晶体管基底和一种制造薄膜晶体管基底的方法。所述薄膜晶体管基底包括:栅电极;沟道层,与栅电极叠置;源电极,与沟道层叠置;漏电极,与沟道层和源电极叠置;以及间隔件,设置在源电极和漏电极之间。 | ||
| 搜索关键词: | 薄膜晶体管 基底 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管基底,所述薄膜晶体管基底包括:栅电极;沟道层,与所述栅电极叠置;源电极,与所述沟道层叠置;漏电极,与所述沟道层和所述源电极叠置;以及间隔件,设置在所述源电极和所述漏电极之间。
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