[发明专利]一种适用于投影光刻机的实时调平系统及其调平方法

摘要

本发明公开了一种适用于投影光刻机的实时调平系统，由光源经第一、第二准直透镜组成为平行光束，通过投影光阑成为一道狭缝光束。狭缝光束经过第一成像镜组成像到硅片表面。从硅片表面反射的光束经第二、第三、第四成像镜组成像在线阵CCD上。当硅片在工件台上有存在偏角α时，从硅片反射的反射光束将偏转2α的角度。这一偏转，将使狭缝的像在线阵CCD上产生ΔX的位移。线阵CCD通过Cameral link传输线将图像信息传输到图像采集控制卡。图像采集卡对图像信息经行亚像素处理，计算出硅片的偏转角，通过控制硅片台下方的压电致动器，实时调平硅片台，保证曝光时硅片的平整性要求。本发明有效的提高了光刻机工作中的实时调平效率，从而提高了光刻机的工作效率。

主权项

一种适用于投影光刻机的实时调平系统，其特征在于：包括光源(1)，第一准直透镜组(2)，第二准直透镜组(3)，第一反射镜(4)，投影光阑(5)，第一成像组镜(6)，第二反射镜(7)，硅片(8)，真空吸盘(9)，工作台(10)，第三反射镜(11)，第二成像镜组(12)，第三成像镜组(13)，第四成像镜组(14)，第四反射镜(15)，线阵CCD(16)，Cameral link传输线(17)，图像采集控制卡(18)，RS232串口(19)和计算机(20)；由光源(1)经第一准直透镜组(2)、第二准直透镜组(3)成为平行光束，经过第一反射镜(4)照射到投影光阑(5)成为一道狭缝光束，狭缝光束经过第一成像组镜(6)成像到硅片(8)表面，从硅片表面反射的光束经第二成像镜组(12)、第三成像镜组(13)、第四成像镜组(14)成像在线阵CCD(16)上，硅片(8)通过真空吸盘(9)固定在工作台(10)上，当硅片在工件台(10)上有存在偏角α时，从硅片反射的反射光束将偏转2α的角度，这一偏转，将使狭缝的像在线阵CCD(16)上产生△X的位移，线阵CCD通过Cameral link传输线(17)将图像信息传输到图像采集控制卡(18)，图像采集控制卡(18)对图像信息经行亚像素处理，计算出硅片的偏转角，通过控制硅片台下方的压电致动器，实时调平硅片台，保证曝光时硅片的平整性要求，图像采集控制卡(18)通过RS232串口(19)同计算机(20)通信，可以进行初始化设置以及调试。