[发明专利]一种自动量程的MEMS电容式传感器有效
| 申请号： | 201610003542.3 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105466466B | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 凤瑞 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 耿英,董建林 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动量程的MEMS电容式传感器，包括MEMS电容敏感模块、电容/电压转换模块、A/D模块和微处理器；MEMS电容敏感模块是由敏感可动结构和固定结构构成的电容；敏感可动结构敏感检测待测物理量产生的机械形变；电容/电压转换模块将电容变化量转换为电压信号；A/D模块采样电压信号后输出给微处理器。通过调节电容两端的直流偏置电压差值，可以调节敏感元件放大倍数，进而实现调节传感器量程到设定范围内。本发明可以扩大MEMS电容式传感器检测量程，尤其对于微弱待测量，可以提高传感器信噪比，增大微弱信号的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 量程 mems 电容 传感器 | ||
【主权项】：
一种自动量程的MEMS电容式传感器，其特征是，包括MEMS敏感模块、电容/电压转换模块、A/D模块和微处理器；MEMS敏感模块包括由敏感可动结构和固定极板构成的电容；敏感可动结构敏感检测待测物理量产生的机械形变；电容/电压转换模块将电容变化量转换为电压信号；A/D模块采样电容/电压转换模块输出的电压信号后输出给微处理器；由微处理器根据接收的数据判断当前A/D模块输出数据是否在设定范围内；即当前量程是否合适；若当前量程合适，则微处理器计算并输出测量结果；若当前量程不合适，则通过调节电容两端的直流偏置电压差值调节MEMS敏感模块放大倍数，进而调节传感器放大倍数，重新由A/D模块采样，直到当前量程合适，完成测量。
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