[其他]尺寸测定装置

摘要

尺寸测定装置包括被测定物的载放台；在臂部的末端部配置有位移检测部的测定件；使测定件在一个轴向移动的直线运动机构；检测测定件的臂部的延伸方向与一个轴向的正交面所成的倾斜角的倾斜检测部；以及控制部。控制部使用输入的倾斜角来求出由于臂部的倾斜而产生的一个轴向的位置偏离量，输出用位置偏离量将测定距离的信息校正后的校正后距离的信息。

主权项

一种尺寸测定装置，其特征在于，所述尺寸测定装置包括：载放台，其载放被测定物；测定件，其具有向所述载放台延伸的臂部，在该臂部的末端部配置有接触式的位移检测部；直线运动机构，其支承所述测定件的所述臂部的基端部，使所述测定件在一个轴向移动并使所述位移检测部与所述被测定物接触；倾斜检测部，其检测所述测定件的所述臂部的延伸方向与所述一个轴向的正交面所成的倾斜角；以及控制部，其在使所述位移检测部与所述被测定物接触的状态下，分别输入从所述位移检测部输出的距离检测信号、和从所述倾斜检测部输出的倾斜角检测信号，使用输入的所述倾斜角检测信号的倾斜角，来求出在所述位移检测部的所述延伸方向的配置位置由于所述臂部的倾斜而产生的所述一个轴向的位置偏离量，输出用所述位置偏离量将从所述位移检测部输出的所述距离检测信号的测定距离校正后的校正距离的信息。