[发明专利]制备石墨碳薄片的方法在审

专利信息
申请号: 201580083131.3 申请日: 2015-09-29
公开(公告)号: CN108028178A 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 王德岩;王秀艳;冯少光;李巧伟;庞青青;P·特雷弗纳斯三世;陈红宇 申请(专利权)人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司
主分类号: H01L21/033 分类号: H01L21/033
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 徐舒
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 提供一种制备石墨碳薄片的方法,包含提供衬底;提供涂料组合物,所述涂料组合物包含:液体载体和具有式(I)的MX/石墨碳前体材料;将所述涂料组合物置于所述衬底上以形成复合材料;任选地,烘烤所述复合材料;在成形气体气氛下对所述复合材料进行退火;由此将所述复合材料转化为设置在提供多层结构的所述衬底上的MX层和石墨碳层;其中在所述多层结构中,所述MX层插入于所述衬底与所述石墨碳层之间;将所述多层结构暴露于酸;并且回收所述石墨碳层作为所述独立式石墨碳薄片。
搜索关键词: 制备 石墨 薄片 方法
【主权项】:
1.一种制备独立式石墨碳薄片的方法,包含:提供衬底;提供涂料组合物,所述涂料组合物包含:液体载体和具有式(I)的MX/石墨碳前体材料,其中M选自Hf和Zr组成的组;其中每个X是独立地选自N、S、Se以及O的原子;其中R1选自-C2-6亚烷基-X-基团和-C2-6次烷基-X-基团组成的组;其中z是0至5;其中n是1至15;其中每个R2基团独立地选自氢、-C1-20烷基、-C(O)-C2-30烷基、-C(O)-C6-10烷芳基、-C(O)-C6-10芳基烷基、-C(O)-C6芳基以及-C(O)-C10-60多环芳香族基团组成的组;其中所述MX/石墨碳前体材料中的至少10摩尔%的所述R2基团是-C(O)-C10-60多环芳香族基团;将所述涂料组合物置于所述衬底上以形成复合材料;任选地,烘烤所述复合材料;在成形气体气氛下对所述复合材料进行退火,由此将所述复合材料转化为设置在提供多层结构的所述衬底上的MX层和石墨碳层;其中在所述多层结构中,所述MX层插入于所述衬底与所述石墨碳层之间;将所述多层结构暴露于酸;以及,回收所述石墨碳层作为所述独立式石墨碳薄片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司,未经罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201580083131.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top