[发明专利]涂覆有氟退火膜的物件有效
| 申请号： | 201580078965.5 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107532283B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 林奕宽;N·困达;D·拉德戈斯基;C·凡卡拉曼 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/48;C23C14/58;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 顾晨昕 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供与具有优良抗等离子体蚀刻性且可延长RIE组件的寿命的涂层有关的物件及方法。一种物件具有真空兼容衬底及上覆于所述衬底的至少一部分上的保护膜。所述膜包括含有钇的氟化金属氧化物。 | ||
| 搜索关键词： | 涂覆有氟 退火 物件 | ||
【主权项】：
一种物件，其包括：真空兼容衬底；保护膜，其上覆于所述衬底的至少一部分上，所述膜包括含有钇的氟化金属氧化物。
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